Logosol 邊緣與預對準器 巡邊臺 光學儀器

聯(lián)系張經(jīng)理：I872I868549

Logosol經(jīng)久考驗的技術(shù)和高可靠性的標準是其廣泛系列預對準器的基礎(chǔ)。Prealigners產(chǎn)品家族支持處理45mm至480mm范圍內(nèi)的物體，無論其透明度從不透明到透明。Logosol獨特的集成設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

?? 二、主要產(chǎn)品系列及型號

LOGOSOL預對準器按應用場景分為三大系列：

1.LOGOSOL 邊緣處理系列（Edge-Grip）

• 技術(shù)特點：

• 被動邊緣接觸技術(shù)，零機械應力，避免晶圓損傷。

• 支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。

• 適用尺寸：75mm–300mm晶圓。

• 典型型號：
  LPA6EH-3, LPA8EH-3, LPA68EH-3, LPA8ET-3, LPA12ET-3, LPA812EH-3。

• 應用場景：碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導體生產(chǎn)線。

2. LOGOSOL獨立式系列（Standalone）

• 技術(shù)特點：

• 單機處理方形、雙層基板及圓形晶圓，支持45mm–480mm超大尺寸范圍。

• 無需機械重定位，通過軟件切換尺寸，提升柔性生產(chǎn)效率。

• LOGOSOL典型型號：
  LPA26-3, LPA38-3, LPA58-3, LPA312-3, LPA812-3, LPA1218-3。

• 應用場景：研發(fā)實驗室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。

3. LOGOSOL嵌入式系列（Embedded）

Logosol 邊緣與預對準器 巡邊臺 光學儀器

• 技術(shù)特點：

• 專為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化，低成本集成中心計算與角度定位功能。

• 提供高精度選件及定制夾具尺寸，兼容主流工業(yè)機器人。

• LOGOSOL典型型號：
  LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E。

• 應用場景：半導體量測設(shè)備（如日立CD-SEM）、自動化晶圓搬運系統(tǒng)改造

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